장비 종류
지우기술의 승화정제장비는 Process Chamber인 Quartz Tube의 내경에 따라 50 에서 300 모델까지 크게 구분된다.
통상 R&D용 일 경우 50, 80, 100 모델이, Pilot생산일 경우 120, 150, 200 모델이 그리고 대량생산일 경우 200, 250, 300 모델이 사용된다.
지우기술은 전체 모델에 대한 장비 납품실적을 보유하고 있으며, 특히 대량생산 용도인 300모델의 경우 50여대 이상을 공급하여 현재 고객사에서 사용되고 있다.
이 300mm 대량생산용 정제장비의 보유실적이 있는 사실과 현재 운영되고 있는 사실의 유무가 진공승화정제장비 제조 능력의 시금석일 것이다.
C. Sublimation System for OLED Display
1) Specification
Model | Quartz Tube (ID, mm) | Loading Capacity | General Specification |
ZPS-50 | ID50 x t2 | 10gr |
*Remarks; Loading capacity can be changed by length of loading zone and material’s density and shape. |
ZPS-80 | ID80 x t2 | 50gr | |
ZPS-100 | ID100 x t3 | 100gr | |
ZPS-120 | ID120 x t3 | 150gr | |
ZPS-150 | ID150 x t3 | 500gr | |
ZPS-200 | ID200 x t3 | 1,000gr | |
ZPS-250 | ID250 x t5 | 2,000gr | |
ZPS-300 | ID300 x t5 | 3,000gr |
2) ZPS Model Classification
Quatrz Tube(ID) | ZPS-D-C1 | ZPS-D-V1 | ZPS-D-V2 | ZPS-T | Remark |
50mm | ● | ● | ● | ● | * ● ; Can be produced * Cryogenic Pump can be applied * Can supply 50mm system |
80mm | ● | ● | ● | ● | |
100mm | ● | ● | ● | ● | |
120mm | ● | ● | ● | ● | |
150mm | ● | ● | ● | ● | |
200mm | ● | ● | ● | ● | |
250mm | ● | ● | ● | ● | |
300mm | ● | ● | ● | ● | |
|
|
|
|