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장비 종류

지우기술의 승화정제장비는 Process Chamber인 Quartz Tube의 내경에 따라 50 에서 300 모델까지 크게 구분된다.
통상 R&D용 일 경우 50, 80, 100 모델이, Pilot생산일 경우 120, 150, 200 모델이 그리고 대량생산일 경우 200, 250, 300 모델이 사용된다.
지우기술은 전체 모델에 대한 장비 납품실적을 보유하고 있으며, 특히 대량생산 용도인 300모델의 경우 50여대 이상을 공급하여 현재 고객사에서 사용되고 있다.
이 300mm 대량생산용 정제장비의 보유실적이 있는 사실과 현재 운영되고 있는 사실의 유무가 진공승화정제장비 제조 능력의 시금석일 것이다.

C. Sublimation System for OLED Display

1) Specification

Model Quartz Tube (ID, mm) Loading Capacity General Specification
ZPS-50 ID50 x t2 10gr
  1. Chamber; Quartz, IT grade
  2. Heater; Ceramic Khanthal, 4~8 zones, Upper/Lower separate control(8~16 zones)
  3. Temperature Control; PID with Temperature Compensation Tool
  4. Vacuum Pump;
    – Back up; Oil Rotary Pump or Dry Pump
    – Main; Diffusion Pump(~x 10 -6 Torr ↓) or Turbo Pump(~x 10 -7 Torr ↓)
  5. Trap; Pneumatic Up/Down & Swievel
    – Cooling Water; Main & Gage trap
    – Liquid Nitrogen; Main (Single or Dual type)
  6. System Control; Touch or PC
  7. Options; Glove Box

*Remarks; Loading capacity can be changed by length of loading zone and material’s density and shape.
ZPS-80 ID80 x t2 50gr
ZPS-100 ID100 x t3 100gr
ZPS-120 ID120 x t3 150gr
ZPS-150 ID150 x t3 500gr
ZPS-200 ID200 x t3 1,000gr
ZPS-250 ID250 x t5 2,000gr
ZPS-300 ID300 x t5 3,000gr

2) ZPS Model Classification

Quatrz Tube(ID) ZPS-D-C1 ZPS-D-V1 ZPS-D-V2 ZPS-T Remark
50mm ● ● ● ● * ● ; Can be produced
* Cryogenic Pump can be applied
* Can supply 50mm system
80mm ● ● ● ●
100mm ● ● ● ●
120mm ● ● ● ●
150mm ● ● ● ●
200mm ● ● ● ●
250mm ● ● ● ●
300mm ● ● ● ●
  1. Refrigerant Single Trap + In-Line Trap
  2. Diffusion + 2xOil Rotary Pump
  1. Double Trap, LN2, Pneumatic up/down and swivel
  2. Diffusion + 2x Oil Rotary Pump
  1. Single Trap, LN2 Pneumatic up/down and swivel
  2. Diffusion + 2x Oil Rotary Pump
  1. Single Trap, LN2 Pneumatic up/down and In Line Filter
  2. Turbo Pump + Dry Pump

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