지우기술 장비 차별화

1. 우수한 온도조절 능력

  • 내부 단면온도의 균일성이 뛰어남;
    상, 중, 하, 전, 후 평균온도 ±1.5℃ 이내 (300mm 정제기, 300℃ 세팅 기준)
  • 과열 제어능력이 우수함;
    +1℃ 이내
  • 내부온도 보상장치 제공;
    외부 대기상태에서 히터가 가열됨으로, 진공챔버 내부의 온도와 차이가 부득이 발생된다.
    이에 대한 보상을 위한 내부온도에 대한 측정이 진공상태에서 이루어져야 한다.
    이를 위해, 별도로 제작된 길이 3M(300mm 경우)의 열전대와, 진공누설이 방지되는 기구가 붙어 있는 스테인레스 후렌지, 고정기구, 열전대 지지대 그리고 1~5개의 온도표시장치가 10대 1set 기준으로 기본 공급된다.

2. 완벽한 불순물 트랩핑 및 빠른 목표진공 도달 능력

  • Single or Dual Liquid Nitrogen(LN2) Trap, Refrigerant Single or In-line Trap 등 다양한 선택 가능(특허 등록 기술)
  • 1차 -196℃ LN2 장입 통에서 기화된 저온의 Nitrogen Gas를 2차 통으로 진공유도하여 재사용함으로 저온 기화가스의 재활용 및 긴 기화시간으로 인한 액체질소 사용량 감소로 인한 비용의 절감 효과 그리고 작업자 편리성 증대 (300mm 경우 1회 장입 후 16시간 이상 사용 실적)
  • 디퓨젼펌프의 사용 시 발생가능한 오일백스트림을 Dual Trap system으로 완벽하게 방지할 수 있다.
  • 저온 열 이동 특성으로 인한 목표 진공 도달시간 단축 및 진공도 개선 효과
  • Pneumatic Up/Down, Swivel이 가능한 운전시스템으로 인한 편리성으로 크리닝 작업이 1인으로 가능하여 인력 활용성이 개선됨

3. 장기간의 진공장비제작 know-how가 적용된 진공장치

  • 15년 이상 진공장비 제조기술이 적용된 진공라인 및 진공펌프 운영기술의
    적용으로 장비의 신뢰도가 높다.
  • 10-10 Torr 진공도의 장비제조 기술의 적용으로 고진공도 구현에 뛰어나다.
  • 고진공 구현을 위한 소재의 가공용접 및 표면처리 기술이 뛰어나다.
  • 각종 진공 응용문제에 대한 대응과 고객의 다양한 개선요구에 빠른 기술적 대응이 가능하다.

4. 다량의 진공승화정제장비 제조 경험에 따른 맞춤형 기술력 및 신뢰성:

  • 50mm R&D 장비부터 300mm 대량생산용 장비제조 실적 보유, 특히 300mm 대량생산용 승화정제장비 제조기술의 확보가 매우 중요함.
  • PC제어 및 PLC제어 모두 가능
  • 오랜 시간 장비 제조경험이 축적된 운전화면의 전문성 및 다양성
  • 진공게이지 수명연장을 위한 특허 진공게이지필터 적용 등 뛰어난 요소기술

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