진공 승화정제장비 개요

현재 차세대 display는 OLED로 현재 스마트폰, TV, 노트북, 자동차 전장 등의
용도로 널리 쓰이고 있으며 향후 조명 및 광고용 display 등으로 사용범위가 점차 확대될 것으로 예측된다.

OLED display는 여러 층의 유기재료를 증착 하거나 인쇄방법을 통하여 제조되고 있다.
여기에 쓰이는 유기재료를 고순도화 시키는 공정에서 진공승화정제장비를 사용하고 있다.
진공승화정제장비는 히터부, 반응챔버부, 진공장치 및 제어부로 구성되어 있다.

히터부 5~8개의 구역으로 나누어진 세라믹 히터
반응챔버부 쿼츠외관, 내관 및 보트
진공장치 터보펌프+드라이펌프, 디퓨젼펌프+오일로터리펌프, 진공배관
제어장치 PC제어, PLC제어

히터부

내관 및 보트

진공장치
터보펌프 + 드라이펌프

진공장치
디퓨젼펌프+오일로터리펌프

PC제어

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