真空升华仪概要

目前的新一代显示器是OLED,正广泛应用于智能手机、电视、笔记本电脑、汽车电装等领域,今后使用范围预计将逐渐扩大到照明和广告显示器等。

OLED显示器是将多层有机材料蒸镀或通过打印方法制造而成。在将其使用的有机材料进行高度提纯的工艺中会用到真空升华提纯设备。真空升华提纯设备由加热器部件、反应室部件、真空装置及控制部件组成。

加热器部件 划分成5~8个区域的陶瓷加热器
反应室部件 石英外管、内管和升华舟
真空装置 涡轮分子泵+干泵,扩散泵+油机械泵,真空管道
控制装置 PC控制,PLC控制

加热器部件

内管和升华舟

真空装置
涡轮分子泵+干泵

真空装置
扩散泵+油机械泵

PC控制

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