真空镀膜系统

真空镀膜系统 Vacuum Coating System

01. Roll to Roll Coating System 镀膜系统
Roll to Roll镀膜系统可连续对柔性材料进行镀膜,是广泛应用于FCCL制造、FPCB制造、各种功能性薄膜的制造、新一代显示器——柔性OLED的制造及柔性太阳能电池制造的设备。

– 薄膜宽度:高达1,100mm

02. 分批式镀膜系统  Batch Type Coating System
知友技术的分批式镀膜系统是商用真空镀膜设备,应用于塑料类、镜片类、电源滤波器、光滤波器、反射板、饰品等的大量镀膜。

Lon电镀系统(Supercoaty ZIP系列)

描述 标准型号 ZIP – 08 ZIP – 10 ZIP – 12 ZIP – 15
真空室尺寸 (mm) dia.800 x H850 dia.1000 x H1100 dia.1200 x H1300 dia.1500 x H1600
夹具装配 旋转夹具
衬底偏压源 DC或RF
衬底加热 微护套加热器,最高350℃
真空泵 油扩散泵 8500ℓ/min 8500ℓ/min x 2ea 13000ℓ/min x 2ea 15000ℓ/min x 2ea
机械泵 3000ℓ/min 3000ℓ/min 4500ℓ/min 7000ℓ/min
机械增压泵 250㎥/hr 600㎥/hr 1000㎥/hr 1300㎥/hr
电源 DC (溅射阴极真空喷镀) 20 ~ 30KW
RF (蚀刻,偏压) 60w ~ 2KW
RF 选配
极限真空 ~ x10-6 Torr

03. 溅射系统  Suttering System
利用溅镀原理的镀膜设备的用途是半导体晶圆镀膜、LCD玻璃的ITO镀膜及各种薄膜的镀膜,在商业上被广泛使用。此外,研究所和大学等机构还将其用于各种研发。

– 可用定制规格–

溅射系统(Supersputty ZCS标准系列)

描述 标准型号 ZCS – 4 ZCS – 6 ZCS – 8
负极 类型 磁电管或二极管
目标尺寸 (mm) dia. 101.6 dia. 152.4 dia. 203.2
数量 最多 3ea 最多 3ea 最多 3ea
衬底 尺寸 (mm) dia. 350 dia. 450 dia. 550
旋转 1~20 rpm(选配;磁性密封)
上&下 Stroke 0 ~ 100mm(Motor Drive)
加热 400 ~ 850 ℃
机械泵& 8英寸低温泵 机械泵& 10英寸低温泵 机械泵& 12英寸低温泵
动力源 RF或DC
极限压力 ~x10-6  Torr或低于该数值
选配 泵(涡轮分子泵/油扩散泵)、射频刻蚀、偏压、APC、目标数量等

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