真空镀膜系统
真空镀膜系统 Vacuum Coating System
01. Roll to Roll Coating System 镀膜系统
Roll to Roll镀膜系统可连续对柔性材料进行镀膜，是广泛应用于FCCL制造、FPCB制造、各种功能性薄膜的制造、新一代显示器——柔性OLED的制造及柔性太阳能电池制造的设备。
– 薄膜宽度：高达1,100mm
02. 分批式镀膜系统 Batch Type Coating System
知友技术的分批式镀膜系统是商用真空镀膜设备，应用于塑料类、镜片类、电源滤波器、光滤波器、反射板、饰品等的大量镀膜。
Lon电镀系统(Supercoaty ZIP系列)
| 描述 | 标准型号 | ZIP – 08 | ZIP – 10 | ZIP – 12 | ZIP – 15 |
| 真空室尺寸 (mm) | dia.800 x H850 | dia.1000 x H1100 | dia.1200 x H1300 | dia.1500 x H1600 | |
| 夹具装配 | 旋转夹具 | ||||
| 衬底偏压源 | DC或RF | ||||
| 衬底加热 | 微护套加热器，最高350℃ | ||||
| 真空泵 | 油扩散泵 | 8500ℓ/min | 8500ℓ/min x 2ea | 13000ℓ/min x 2ea | 15000ℓ/min x 2ea |
| 机械泵 | 3000ℓ/min | 3000ℓ/min | 4500ℓ/min | 7000ℓ/min | |
| 机械增压泵 | 250㎥/hr | 600㎥/hr | 1000㎥/hr | 1300㎥/hr | |
| 电源 | DC (溅射阴极真空喷镀) | 20 ~ 30KW | |||
| RF (蚀刻，偏压) | 60w ~ 2KW | ||||
| RF | 选配 | ||||
| 极限真空 | ~ x10-6 Torr | ||||
03. 溅射系统 Suttering System
利用溅镀原理的镀膜设备的用途是半导体晶圆镀膜、LCD玻璃的ITO镀膜及各种薄膜的镀膜，在商业上被广泛使用。此外，研究所和大学等机构还将其用于各种研发。
– 可用定制规格–
溅射系统(Supersputty ZCS标准系列)
| 描述 | 标准型号 | ZCS – 4 | ZCS – 6 | ZCS – 8 |
| 负极 | 类型 | 磁电管或二极管 | ||
| 目标尺寸 (mm) | dia. 101.6 | dia. 152.4 | dia. 203.2 | |
| 数量 | 最多 3ea | 最多 3ea | 最多 3ea | |
| 衬底 | 尺寸 (mm) | dia. 350 | dia. 450 | dia. 550 |
| 旋转 | 1~20 rpm(选配；磁性密封) | |||
| 上&下 | Stroke 0 ~ 100mm(Motor Drive) | |||
| 加热 | 400 ~ 850 ℃ | |||
| 泵 | 机械泵& 8英寸低温泵 | 机械泵& 10英寸低温泵 | 机械泵& 12英寸低温泵 | |
| 动力源 | RF或DC | |||
| 极限压力 | ~x10-6 Torr或低于该数值 | |||
| 选配 | 泵(涡轮分子泵/油扩散泵)、射频刻蚀、偏压、APC、目标数量等 | |||