知友技术设备差异化

1. 优秀的温度调节能力

  • 内部截面温度的均匀性突出
    上、中、下、前、后的平均温度在±1.5℃以内(300mm提纯机,以设为300℃为准)
  • 过热控制能力
    +1℃以内
  • 提供内部温度补偿机制;
    加热器在外部大气状态下加热,不得已与真空室内的温度产生差异。
    为了对此进行补偿,必须在真空条件下测量内部温度。
    因此,基本提供特制的长3M(300毫米时)的热电偶、带有真空防漏器具的不锈钢法兰、固定器具、热电偶支架及1~5个温度显示装置(以10台1组为准)。

2. 具有完美捕集杂质和快速达到目标真空的能力

  • 可选择单向或双向液氮(LN2)捕集器及制冷剂单向或管路捕集器等(专利注册技术)
  • 将在一次-196℃ LN2装入桶中气化的低温氮气真空导入二次桶重新利用,气化气体的再利用和较长的气化时间导致液态的使用量减少,进而达到节省费用和提高工作人员便利的效果(以300mm为例,装入一次后至少可使用16个小时)
  • 利用双向捕集器系统能完美地防止使用扩散泵时可能出现的油逆流现象。
  • 低温热移动特性带来缩短达到目标真空的时间及改善真空度的效果
  • 可实现气动式上/下及旋转的运行系统非常方便,单人即可完成清洁作业,改善人力使用性

3. 真空装置应用了长期积累的真空设备制造技巧

  • 运用了融入15年以上真空设备制造技术的真空线和真空泵运营技术,设备的可靠性高。
  • 采用10-10 Torr真空度的设备制造技术,出色地实现了高真空度。
  • 对实现高真空所需材料的加工焊接和表面处理技术卓越。
  • 可应对各种真空应用问题,对客户的各种改进需求做出迅速的技术应对。

4. 运用丰富的真空升华提纯设备制造经验,保障订制技术力和可靠性:

  • 拥有从50mm R&D设备到300mm量产型设备的制造业绩,尤其是掌握300mm量产型升华提纯设备的制造技术非常重要
  • PC控制和PLC控制均可
  • 运用长期积累的设备制造经验制成的运行画面的专业性和多样性
  • 应用专利真空计过滤器来延长真空计的寿命等出色的技术要素

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