设备种类

知友技术的升华提纯设备根据真空室石英管的内径,型号大致可分为50到300。

通常R&D使用的型号为50、80和100,试验性生产使用的型号为120、150和200,大量生产使用的型号为200、250、300。

知友技术公司拥有所有型号设备的供货业绩,尤其是大量生产使用的300型号的设备,目前已供应给客户公司50多台 。

是否拥有300mm量产型提纯设备供货业绩和目前是否在运营该设备会成为真空升华仪制造能力的试金石。

C. OLED显示器用升华系统

1) Specification

型号 石英管 (ID, mm) 载重量 一般规格
ZPS-50 ID50 x t2 10gr
  1. 真空室;石英,IT等级
  2. 加热器;Ceramic Khanthal,4~8区,上/下分开控制(8~16区)
  3. 温度控制;配有温度补偿工具的PID
  4. 真空泵;
    –辅助泵;油机械泵或干泵
    –主泵;扩散泵(~x 10 -6 Torr ↓)或涡轮分子泵(~x 10 -7 Torr ↓)
  5. 冷阱;气动式上/下&旋转
    –冷却水;主&量规捕集器
    –液氮;主(单阱或双阱)
  6. 系统控制;触控或PC
  7. 选配:手套箱

*备注;载重量可能会根据装载区的长度及材料的密度和形状而变。

ZPS-80 ID80 x t2 50gr
ZPS-100 ID100 x t3 100gr
ZPS-120 ID120 x t3 150gr
ZPS-150 ID150 x t3 500gr
ZPS-200 ID200 x t3 1,000gr
ZPS-250 ID250 x t5 2,000gr
ZPS-300 ID300 x t5 3,000gr

2) ZPS型号分类

石英管(ID) ZPS-D-C1 ZPS-D-V1 ZPS-D-V2 ZPS-T Remark
50mm * ● ; 可生产
*可用低温泵
*可提供50mm系统
80mm
100mm
120mm
150mm
200mm
250mm
300mm
  1. 制冷剂单冷阱+管路捕集器
  2. 扩散泵+2x油机械泵
  1. LN2双冷阱,气动式上/下及旋转
  2. 扩散泵+2x油机械泵
  1. LN2单冷阱,气动式上/下及旋转
  2. 扩散泵+2x油机械泵
  1. LN2单冷阱,气动式上/下及管路过滤器
  2. 涡轮分子泵+干泵

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